步骤1、干冰颗粒在高压气流中加速，以接近音速的速度冲击待清洗表面，在冲击瞬间气化，干冰的动量在冲击瞬间消失，干冰颗粒与清洗表面间迅速发生热传递，致使固体CO2迅速升华变为气体。
步骤2、由于温差能破坏不同热膨胀系数的材料结合，干冰颗粒（-78.5℃）冲击被清洗表面，使污垢冷冻脆化和爆裂，产生“龟裂”，影响了粘附污垢的机械性能。
步骤3、干冰颗粒冲击污垢间裂缝，在千分之几秒内体积膨胀近800倍，形成无数“微型爆炸”，将污垢剥离表面。同时加上干冰颗粒的磨削和冲击、压缩空气吹扫剪切，使污垢从被清洗表面以固态形式被剥离，从而达到了清除目的。由于CO2挥发，干冰清洗过程中没有产生任何二次废物，留下需要清理的只是清除下来的污垢。

干冰清洗系统图 

 第一部分是干冰制备系统：将液态CO2制作成一定规格的干冰颗粒或干冰块；
 第二部分是干冰喷射清洗系统：在清洗设备内装入已制作好的干冰颗粒或干冰块，在压缩空气的驱动下，高密度干冰颗粒随着压缩空气冲击到被清洗物体表面，从而起到清洗作用。
干冰清洗的显著优势